分子線エピタキシー装置

MBE-2号機

Group-III source :Ga, In, Al (k-cell)
Group-V  source :As, Sb (Valved Cracker Cell)
Dopant:Si, Be
Other:N (RF-plasma), Atomic H (Cracking Cell)
 

MBE-3号機 

Group-III source:Ga, Al, In (k-cell)
Group-V source:As (Valved Cracker Cell) 
Dopant:Si, Be
Other:N (RF-plasma), Atomic H (Cracking Cell) 

ダブルチャンバーMBE

   


 評価装置&その他

 分光感度計測装置

 太陽電池評価装置              触針膜厚計


 
 抵抗加熱蒸着機                 EB蒸着機

 アニール炉                    フォトリソグラフィ      

  エリプソメーター                                 ワイヤーボンダー



 原子間力顕微鏡 (AFM)                       電子顕微鏡 (SEM)

 高分解能X線回折装置 (HR-XRD) 

 フォトルミネッセンス(PL)測定装置      フォトリフレクタンス(PR)測定装置

 

   超短パルスレーザー                             時間分解分光系